潔凈室建造尋求低成本 新規范確保安全

對集成電路、TFT-LCD和太陽能電池生產廠房的建設而言，潔凈室系統的設計與施工是至關重要的環節。我國潔凈技術市場潛力巨大，據統計，該領域市場年增長速度約為40%。今年7月，我國專門針對電子工業領域的潔凈廠房設計推出的*個國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB50472)正式實施，在本月中旬舉辦的“2009中國(無錫)潔凈工程高峰論壇"上，來自電子工程設計和建造行業的專家和企業界人士齊聚一堂，向與會聽眾介紹了潔凈室領域的技術與成功案例，并對新頒布的規范進行了解讀。 

　　潔凈設計新規范適應工藝發展 

　　集成電路和新型顯示器件的生產必須嚴格滿足高潔凈度的環境要求。據《電子工業潔凈廠房設計規范》主編陳霖新介紹，45納米大規模集成電路生產要求控制潔凈室的空氣潔凈度為ISO1級或2級，控制微粒粒徑為0.03微米；隨著集成度的不斷提高、加工尺寸的日益微細化，不僅要求十分嚴格的空氣潔凈度等級，而且要確保整個產品生產過程中微粒不黏附在芯片上，芯片不受化學污染物的污染，芯片表面不受損傷，這些問題都要通過潔凈技術來加以解決。作為本次高峰論壇的東道主，無錫市人民政府秘書長吳峰楓也在致辭中表示：“潔凈工程是一項的帶凈化要求的安裝工程，潔凈工程技術水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區科學技術水平和工業水平的重要標志。" 

　　“目前，針對潔凈室的設計，我國共有3個國家標準。除了今年7月正式實施的GB50472之外，還有《潔凈廠房設計規范》(GB50073)和適用于醫藥工業的《醫藥工業潔凈廠房設計規范》(GB50457)。"陳霖新表示，“隨著電子工業生產技術的，GB50073中有關規定已不能滿足需要，尤其是涉及化學分子污染物的控制以及安全、消防等方面的規定，如潔凈建筑防火與疏散、易燃易爆氣體和化學品的貯存輸送、安全消防報警設施等。因此，專門針對電子工業領域潔凈廠房的設計規范GB50472就應運而生了。" 

　　電子工程標準定額站站長薛長立則表示，電子工程的標準化是為了在電子工程領域獲得*秩序，以促進*社會效益為目的，使相關企業遵守統一的規則。“標準規范是工程建設經驗的總結，是滿足安全和質量的zui低要求，工程技術人員應該以標準規范為指導，正確理解標準規范中有關條文的應用前提和適應條件。"薛長立補充道。 

　　在電子工業潔凈廠房的設計過程中，如果設計時潔凈技術措施、安全消防設施等的設置要求不明確、不一致，將造成工期延誤或措施不當，從而使建成的潔凈廠房運行效果差，影響產品質量和可靠性，嚴重的時候還會造成安全隱患。陳霖新強調：“GB50472的實施就是為了有效地避免電子工業潔凈廠房設計時各的不協調、不完善，從而避免工程設計的差錯。所有進行電子工業潔凈廠房設計建造的單位和相關科技人員都應認真執行、實施規范中的強制條文、性條文的各項規定，使電子工業潔凈廠房的設計、建造有法可依、有章可循。" 

　　從設計施工環節尋求成本優化 

　　集成電路、新型顯示器件制造是高能耗的產業，據統計，潔凈室的能耗是一般寫字樓的10-30倍，而潔凈空調系統的能耗則占其中的30%以上。的潔凈室設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產安全可靠的保證。 

　　陳霖新表示：“潔凈技術是一門綜合技術，其關鍵技術是生產工藝技術及其工藝設計、空氣凈化、潔凈建筑以及各類產品生產所需的技術，如微電子產品生產所需的高純物質———高純水、高純氣、高純化學品的相關技術等。這些技術在潔凈室設計中都是*的，它們之間必須密切配合，圍繞著滿足產品生產的需要，相互協調、統籌安排。潔凈廠房的設計、建造就是要在做好各相關設計的基礎上，做好防火、防爆、安全報警等各項安全設施，確保潔凈室的安全運行；處理好電源、冷源、熱源等動力供應，節約能源；安排好各類配管配線，確保各種流體介質的輸送質量，減少材料消耗，方便施工安裝和運行維護。"  

　　在潔凈室的設計工程中，也可以利用計算機軟件對相關系統進行模擬，以確保有效地節能。在本次潔凈工程高峰論壇上，世源科技有限公司總工程師秦學禮向與會人士演示了TFT-LCD潔凈室的CFD(計算流體動力學)模型。據秦學禮介紹，當初世源科技承擔*條第6代TFT-LCD生產線設計任務的時候，由于在沒有先例可循，液晶面板廠對于同行的技術封鎖也嚴密，這就促使世源公司跟高校合作，利用CFD軟件對潔凈室的氣流組織、壓力分布及其對潔凈度的影響進行仿真設計，從而得出優化的設計結果。秦學禮同時表示，目前正在把該軟件應用到*條第8代TFT-LCD生產線潔凈室的設計工作之中。 

　　成本優化也體現在潔凈廠房施工過程之中。作為電子工業廠房施工單位的代表，中電二公司總工程師施紅平表示，由于集成電路和TFT- LCD工廠的投資額特別大，建設方希望盡快投入生產，盡早取得，因此，施工單位所面臨的困難就是工期要求緊。成都天馬微電子有限公司工程總監王磊則以TFT-LCD廠房建設為例，探討了如何針對工程設計、采購和施工的不同階段，實現成本的優化、進度的控制并保證施工質量。